快盈VIII平台-微导纳米：拟募资不超11.7亿元投向半导体薄膜沉积设备智能化工厂等
宣布于：2025-10-04 12:53:20

微导纳米5月29日宣布晚间通知布告称，公司拟向不特定对于象刊行可转换公司债券拟召募资金总额不跨越11.7亿元，扣除了刊行用度后召募资金净额将用在半导体薄膜沉积装备智能化工厂设置装备部署项目、研发试验室扩建项目、增补流动资金。

通知布告显示，半导体薄膜沉积装备智能化工厂设置装备部署项目总投资额为6.7亿元，拟利用本次召募资金金额约6.43亿元。计划设置装备部署进步前辈的生产车间，购置进步前辈生产装备及量测装备，晋升公司薄膜沉积装备的生产能力。本项目重要生产半导体领域 iTomic 系列及 iTronix 系列产物，其触及原子层沉积及化学气相沉积两年夜类装备。

经由历程本项目的设置装备部署，公司将连续拓展半导体领域产物的工艺技术类型，并对于现有iTomic 系列及 iTronix 系列产物举行技术进级，延展机台的工艺规模，同时于装备的占地、产能、成本上进行优化，开发并量产越发进步前辈的工艺技术。

据相识，微导纳米致力在薄膜沉积装备研究，颠末多年生长，形成为了以原子层沉积（ALD）技术为焦点，化学气相沉积（CVD）等多种真空薄膜技术梯次生长的产物系统，笼罩多类工艺技术及产物种别。今朝，公司产物已经经笼罩逻辑、存储、新型显示（硅基 OLED 等）及化合物半导体等领域。

此外，研发试验室扩建项目实行地址位在江苏省无锡市新吴区内，项目总投资额为4.3亿元。拟计划设置装备部署进步前辈的研发洁净间，购置进步前辈量测装备，优化公司研发测试情况，晋升公司研发能力和科技结果转化能力。旨于经由历程周详丈量、技术验证、质量节制、市场运快盈VIII平台-用和人材造就等要害事情，确保产物质量稳定靠得住的同时连续推动技术立异及产物研发，从而于不停推陈出新的市场情况中连结竞争上风，为实现世界级微纳技术解决方案设备制造商的目标提供技术支撑。

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