来历：TOKYO ELECTRON
媒介 近日，Tokyo Electron(TEL)、富士金股份有限公司及TMEIC股份有限公司配合开发出一款调控半导体系体例造的沉积工艺中臭氧浓度的新型监测仪，并对于该监测仪与臭氧发生器的兼容性举行周全测试。这次的结合开发也是TEL倡议并推动的供应链提倡E-COMPASS的一部门。
01 配景BACKGROUND半导体系体例造历程的沉积法式需要利用臭氧来形成种种氧化物薄膜，并经由历程靠得住的臭氧浓度检测仪实时监测臭氧发生器的状况及性能。传统的臭氧浓度丈量技术之一是紫外接收法，该要领使用的是臭氧对于差异波长的紫外线接收水平差异的原理，而错误谬误是，因汞是有害物资，需要对于利用了汞紫外的灯源举行定期更换*1。TEL、富士金及TMEIC配合研发的无汞且免维保的臭氧浓度监测仪及臭氧发生器，可以解决这一问题。
02臭氧浓度监测仪的特色FEATURES
不含汞、免维保、低功耗
■LED紫外光源，连结并优在传统检测仪的性能靠得住性。
■不含汞，对于情况不孕育发生有害物资。
■与传统的两年更换一次灯源的频率相比，LED灯源具备跨越10年的耐久耐用水平，免除维保的后顾之忧。
■配置LED的监测仪，实现耗电量从25W降至3W（降低88%）。这相称在每一台监测仪每一年削减77.1公斤的CO2e*2的排放量。
图：新型臭氧浓度监测仪
03情况价值ENVIRONMENTAL VALUE
削减CO2e排放量及运行成本
这次开发的新型臭氧浓度监测仪适用在半导体系体例造装备及臭氧发生器。未来五年，臭氧发生器的需求规模将翻一番，接纳新型臭氧监测仪有望资助工厂削减310吨CO2e排放量及约1亿日元的灯源更换用度。
04技术共创TECHNOLOGYCO-CREATION
于这次情况技术相助中，富士金与TEL配合开发了臭氧浓度监测器，由TMEIC于其臭氧发生器上对于该监测仪举行测试及性能验证， 从而确保该监测仪适用在多个领域，此中也包罗TEL的半导体系体例造装备及配套举措措施。
05企业理念CORPORATEPHILOSOPHY
为应答数字化及绿色社会的未来全世界趋向的到来，今后，TEL将一如既往与营业同伴连结相助无懈，踊跃提供友恋爱况的装备并为装备开快盈VIII平台-发环保技术。于这些营业开展历程中，努力践行 经由历程进步前辈的技术及靠得住的服务，为缔造富有胡想的社会做孝敬 的企业理念。
【近期聚会会议】7月25日14:00，CHIP China 晶芯钻研会行将结构举办主题为“进步前辈半导体量测与检测技术进展与运用”的线上聚会会议。诚邀您上线参会交流答疑，推动进步前辈半导体量测与检测技术的交流与碰撞，接待扫码报名：https://w.lwc.cn/s/fuQBbu
【2024整年计划】隶属在ACT雅时国际商讯旗下的两本优异杂志：《化合物半导体》＆《半导体芯科技》2024年钻研会整年计划已经出。线上线下，同谋行业生长、工业前进！商机相助尽收眼底，接待您点击获�。ttps://www.siscmag.com/seminar/
-快盈VIII平台-
项目经理微信
移动版官网
