快盈VIII平台-“阳春三月友相逢” Park亮相上海SEMICON CHINA 2024(3月20
宣布于:2025-11-16 11:59:09

来历:Park Systems

SEMICON CHINA 2024将在3月20-3月22日于上海举办,连续参展的Park Systems将以“立异 卓着 优质”为主题,携旗下的焦点产物重磅亮相此展览会。

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公司简介速览

Park Systems建设在1988年,是全世界首个推出贸易原子力显微镜产物的上市公司。Park公司建设30多年来,始终致力在纳米领域的描摹 力学丈量及半导体进步前辈制程工艺的计量的新技术新产物的开发。其纳米计量体系(包罗 AFM 及椭偏仪)被半导体、电子、质料科学、生命科学等浩繁行业的研究职员及科学家广泛利用。

Park Systems为半导体系体例造计量、器件掉效分析以和种种工业运用提供了一系列主动化原子力显微镜。其产物组合可以或许满意半导体及显示行业的需求,提供对于纳米级结构的精准节制及丈量,这对于在器件制造及性能晋升尤为主要。Park原子力显微镜技术所提供的丈量正确性、重复性及周全性显著提高了制成效率,并晋升了终端产物的质量。

焦点产物抢“鲜”看

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ParkNX-Wafer

用在半导体晶圆制程

·为FA及研究试验室提供精准的原子力显微镜解决方案

·实现高量率的精准且高重复性的丈量

·低噪声Z探测器可切确丈量原子力显微镜外貌描摹

·利用真正非接触模式扫描方式,实现样品无损检测

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ParkNX-3DM

主动化工业AFM用在高分辩率三维计量

·专为凹陷及悬垂结构的侧壁分析举行了优化

·接纳立异设计的扭转扫描器,实现精准的3D计量

·可以或许于邃密的光刻胶外貌举行非破坏性丈量

ParkNX-eAFM

·经由历程C-AFM及EFM实现晶圆级电学分析

·面向纳米器件的电测试解决方案及纳米成像能力

·对于薄膜击穿电压和相干特征、阈值电压的成像

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ParkNX-Mask

用在半导体光掩模修复

·慎密集成到产线历程中,实现即时、无缝修复

·主动化原子力显微镜用在外貌粗拙度及图案步高丈量

快盈VIII平台-

·兼容主动化双POD体系,用在EUV掩模处置处罚

·综合解决方案,用在缺陷检测及修复后验证

·正确、无损的机械缺陷去除了

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ParkNX-Hybrid WLI

AFM及WLI联用技术,Park NX-Hybrid WLI 应运而生!

·它联合了顶级的半导体计量技术:白光干预干与仪(WLI)及原子力显微镜(AFM)

·WLI及AFM一路于规模、分辩率及速率方面体现精彩

·两个物镜可经由历程电动线性镜头更换器主动更换

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ParkNX-TSH

用在年夜型平板显示器计量

·专为建设下一代平板显示器生产工厂的制造商而开发

·用在OLED、LCD及2D编码器样品的全主动探针扫描头

·为OLED、LCD及光掩模提供靠得住且高分辩率的AFM图象

·降服了样品尺寸及重量的限定

售后服务优质暖心

点击链接不雅看视频:https://mp.weixin.qq.com/s/vPTuWQEJR8zqBt0aZRvvNw

及客户对于接中,工程师能踊跃介入工厂的生产计划环节,再凭据中国市场情况,去工厂对于客户的装备需求举行出厂检查以和调试。若有需要,咱们的工程师另有会陪同客户去工厂对于装备举行预验收。

当问题泛起时,客户可以经由历程德律风、微信、收集留言等多种方式接洽到咱们。如果前提允许,咱们不仅可以举行视频协助,甚至可以调派就近职员上门处置处罚。于中国,咱们的备件堆栈可以实现80%以上的本土维修。

于Park Systems,咱们致力在向全世界客户提供高水准的服务质量,并提供周全的技术撑持,资助客户实现他们的目标。咱们的专业技术团队随时提供Park原子力显微镜安装、操作等相干方面的资助。咱们允许和时、有用地解决客户的相干疑难。

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400-878-6829

www.parksystems.cn

Park北京分公司

北京市海淀区彩及坊路8号天创科技年夜厦518室

Park上海试验室

上海市闵行区丰虹路199号德必虹桥国际WE 5号楼118

Park广州试验室

广州市河汉区五山路200号河汉北文创苑B座211

【近期聚会会议】

3月20-22日,期待与您再聚SEMICON China(展位号:T2425) 慕尼黑上海光博会(展位号:OW7馆7125)接待您加入视频专访栏目,说品牌故事,聊产物技术;谈未来生长。您的精彩访谈将泛起于我社各矩阵渠道宣传展示。有兴致的朋友可点击检察运动详情:https://w.lwc.cn/s/zy2MBr

3月29日14:00,雅时国际商讯结合Park原子力显微镜、蔡司显微镜、九峰山试验室行将举办“缺陷检测半导体质料及器件研发及生产的利器”专题聚会会议,助力我国宽禁带半导体行业的快速康健生长!诚邀您介入交流:https://w.lwc.cn/s/IJnYR3

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