来历：宁波前湾新区治理委员会
7月15日消息，近日宁波冠石半导体有限公司迎来要害节点，引入首台电子束掩模版光刻机。据悉，该装备是光掩模版40nm技术节点量产和28nm技术节点研发的重点装备。
光掩模版是集成电路制造历程中光刻工艺所利用的要害部件，近似在相机“底片”，光线颠末掩膜版后，可于晶圆外貌暴光形成电路图形。今朝，我国高精度半导体光掩模版产物重要仍依靠在入口，国产化率极低。
据相识，冠石半导体重要从事45nm~28nm半导体光掩模版的规模化生产。当前，冠石半导体一期洁净车间设计产能为月产5000片180nm~28nm集成电路掩模版。据冠石相干卖力人先容，企业正加速推进外洋结构战略，并于世界一流半导体光掩模版制造技术班底的加持下，预计本年底，企业将陆续实现为海内外中高端集成电快盈VIII平台-路掩模版提供制版服务。
这次引入电子束掩模版光刻机，冠石半导体将成为海内技术能力进步前辈的自力光掩模版生产企业，可弥补海内高阶制程光掩模空缺，打破外洋高端光掩模版的垄断场所排�。岣呶夜氲继骞庋谀９ひ档哪布翱煽匦�。
集微网此前报导，南京冠石科技株式会社在2023年5月16日与宁波前湾新区治理委员会签订《投资和谈书》，投资设置装备部署半导体光掩膜版制造项目。该项目实行主体为宁波冠石半导体有限公司，项目总投资约20亿元，先期投资16亿元，拟用地约68.8亩，设置装备部署周期计划为60个月，重要生产45nm~28nm成熟制程的半导体光掩膜版。
冠石科技聚焦显示行业，主业务务产物中的偏光片、功效性器件、旌旗灯号毗连器、液晶面板和生产辅耗材等可广泛运用在液晶电视、智能手机、平板电脑、条记本电脑、智能穿着等带有显示屏幕的消费电子产物，今朝已经与京东方、华星光电、富士康、彩虹光电、维信诺等显示面板制造企业建设相助瓜葛。
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