据“南海丹灶”民众号消息,3月18日,总投资35亿元的深圳清溢光电株式会社“平板显示和半导体用掩膜版”生产基地(佛山南海)设置装备部署项目动工仪式于南海丹灶进行。
据悉,项目总投资35亿元,将设置装备部署平板显示配套掩膜版生产线、半导体IC配套掩膜版生产线,实现250—28nm光掩膜版量产,满意8寸及12寸晶圆厂掩膜版需求。佛山市副市长文曦体现,清溢光快盈VIII平台-电的落地将有助在推动佛山市新型显示和半导体工业集聚化、链条化生长,打造新型显示和半导体工业高质量生长的新增加点及新亮点。
据相识,于半导体芯片掩膜版领域,清溢光电已经实现180nm工艺节点半导体芯片掩膜版的量产,已经实现150nm工艺节点半导体芯片掩膜版的客户测试认证,正于推进130nm-65nm的PSM及OPC工艺的掩膜版开发及28nm半导体芯片所需的掩膜版工艺开发计划,重要工艺技术已经处在海内偕行业领先水平。
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